Герметичный корпус с откачной системой и машинный модуль установлены на единый металлический каркас, который распределяет давление на пол перекрытия. Каркас закрывается со всех сторон металлическими крышками для доступа к оборудованию. Боковые крышки являются дверцами. Машинный отсек содержит подсистему терморегулирования, механическую систему охлаждения, щит электропитания, контроллер системы управления. Отсек электропитания имеет исполнение IP54. Все кабели, провода, трубопроводы, оборудование размещены внутри единого корпуса без выступающих элементов конструкций, закрытого открывающимися крышками - дверцами.
Система вакуумной откачки состоит из форвакуумного насоса - двухступенчатого пластинчато-роторного насоса и турбомолекулярного насоса. Турбомолекулярный насос подключается к вакуумному объему через шибер. Привод шибера пневматический. Для измерения давления используется вакуумный датчик, объединяющий в себе два метода измерения: ионизационный метод (прибор с холодным катодом) и тепловой метод (Пирани метод). Таким образом один прибор измеряет давление в диапазоне от атмосферного до 10-9 мБар.
Система терморегулирования состоит из активного (с терморегулированием) термоэкрана (термоэкрана цилиндрической части, термоэкранов передней и задней крышки) и термостабилизированного стола. Термоэкраны представляют собой сваренные между собой пластины из нержавеющей стали с сформированными каналами по которым прокачивается теплоноситель. Внутренняя поверхность термоэкранов окрашена в черный цвет специальной краской, не загрязняющей камеру в вакууме в диапазоне рабочих температур, внешняя полирована до зеркального состояния. Стол состоит из стальной пластины с резьбовыми отверстиями для крепления ОИ и приваренного теплообменника, по конструкции аналогичного термоэкрану. В термоэкраны и стол подается теплоноситель, регулирующий температуру в термоэкранах и столе. Теплоноситель, прежде чем попасть в термоэкран проходит через теплообменник, в котором нагревается нагревателями и охлаждается испарителем механической системы охлаждения в зависимости от заданной и текущей температуры на столе. Контур управления температурой для стола и термоэкранов один.
Механическая система охлаждения представляет собой двухкаскадную компрессорную систему охлаждения с полугерметичными компрессорами. Для отвода используется водяной конденсатор. В установке применены хладагенты R404A и R23.
Система управления реализована на базе ПЛК (Программно-логического контроллера), установлена на щите электропитания с возможностью расширения. Панель управления Touch screen расположена на боковой стенке машинного модуля. Контроллер через интерфейс Ethernet подключен к внешнему персональному компьютеру с установленным прикладным ПО (программным обеспечением) на расстоянии 10 м. Контроллер управляет всем оборудованием камеры посредством аналоговых и цифровых входов и выходов. Диалог реализован с использованием пиктограмм и цифровых меню. Реализованы различные уровни доступа: оператор, администратор, сервис. Контроллер реализовывает функции системы безопасности с предупреждающими сообщениями и прерываниями в случае аварийных ситуаций. Реализована звуковая и световая сигнализации при возникновении аварийных ситуаций как на крыше камеры, так и на удаленном месте управления. На панели в схематическом виде различными цветами отображается работа оборудования с индикацией работы клапанов, насосов в цифровом и аналоговом виде в виде стрелочных приборов. На графиках отображаются измеряемые величины (значения температур, давлений).
Алгоритмы регулирования температуры реализованы на базе ПИД (Пропорционально-интегрально-дифференцирующих) регуляторов по идеологии Главный - подчиненный Master-Slave.
Давление на экране панели управления (по выбору пользователя) отображается как в миллибарах mBar, так и в миллиметрах ртутного столба mm Hg.
